1.維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 4mrad介紹
P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除）及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。
維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 4mrad特性
• θx一維偏轉(zhuǎn)，zui大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 外形超薄 • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間
運(yùn)動方式
頻率負(fù)載曲線
閉環(huán)曲線
閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。
小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選
結(jié)構(gòu)原理
壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉(zhuǎn)，相移器）提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad，偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。
超小體積設(shè)計(jì)，具有非?？斓捻憫?yīng)速度，可帶載Ø15mm的鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。
平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點(diǎn)，兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價(jià)比高等。
如果角度偏轉(zhuǎn)時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 4mrad 應(yīng)用
產(chǎn)品測試
• 圖像處理/穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光過濾/轉(zhuǎn)換 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡
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