芯明天壓電納米定位技術助力中國芯片產業，加速“中國芯”！
更新時間： 2018-05-14
哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術近二十載，已發布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產品，并不斷進行技術改進，目前直線定位產品定位精度可達亞納米級，角度定位產品的定位精度可達納弧度級，重復度可達0.02%F.S.。
?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國的一個生產制造企業，正在并將持續不斷改進我們的技術，提高產品的精度及質量，助力于中國芯片產業快速發展！
芯明天壓電定位產品之壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片進行聚焦，顯著提高定位精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
利用芯明天壓電物鏡定位器進行激光加工
?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級定位精度，它的主要應用之一就是激光加工，例如晶圓切割。物鏡將激光束進行聚焦，通過壓電物鏡定位器調整激光束加工點的位置，調整精度為納米級，且速度可達亞毫秒。
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激光加工之晶圓切割
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激光經過透鏡聚焦，再利用芯明天壓電物鏡定位器調整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成連續切割點從而達到切割的目的。
?芯明天壓電物鏡定位器部分參數：
型號 | 聚焦范圍 [μm] | 分辨率 [nm] | zui大承載 [g] | 類型 |
P72.Z100 | 110 | 2.5 | 200 | 小體積 |
P73.Z500 | 550 | 7 | 400 | 大行程 |
P76.Z100 | 110 | 2.5 | 500 | 大負載 |
安裝結構
為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過獨立的轉接件與顯微鏡和物鏡進行連接。壓電物鏡定位器通過螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同時芯明天也接受定制螺紋適配器。
芯明天壓電物鏡定位器可裝配多種品牌、尺寸物鏡
多種螺紋牙尺寸可選，可配置不同品牌的物鏡，也可選擇螺紋牙轉接器進行轉接。螺紋尺寸可定制。
芯明天壓電物鏡定位器其他應用舉例
白光干涉
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白光干涉技術以可見光為光源，光源發出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強，另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡，與原光學平面的反射光產生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器，準確性高可達納米解析度，垂直掃描高度可達550μm。
原子力顯微鏡
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原子力探針的針部置于干涉顯微鏡的光軸上，產生干涉條紋由CCD接收，當樣件移動時，表面高度變化，引起原子力探針的變化，其變化量由白光干涉條紋計量。當原子力探針的變化量超過預定閾值，探針拉回原位，實現原子力探針的跟蹤測量。
?差動式聚焦檢測系統
差動式聚焦檢測系統中，一束很強的匯聚激光投影到工件之上，聚焦鏡通過壓電物鏡定位器可垂直移動，其移動量由焦點誤差信號控制，焦點誤差信號探測它對真實表面的距離變動。當激光經工件轉換并傳遞時，聚焦鏡通過反饋系統維持與工件的距離，該反饋系統是從像檢測器到由壓電物鏡定位器控制的聚焦鏡的一個轉換回路，聚焦鏡的運動量表示所測表面的粗糙度數值。
顯微光學成像
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顯微光學成像，通常也稱“光學顯微成像”，或“光學顯微術”（Optical Microscopy，或Light Microscopy），是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動，可使觀測精度達納米級。
