一維Z向小體積直線壓電平臺
壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結構緊湊易于集成。
特點
• 一維Z向運動
• 位移可達100μm
• 體積小巧
• 毫秒級響應時間
• 真空版本可選
閉環版本定位精度高 響應速度快
P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環壓電控制器可實時對位移進行精密調整，實現納米級的精密定位控制。
P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應速度快，配套E52系列壓電控制器可實現0.8ms的階躍時間。
宏微復合機構
P11.Z100配套宏動機構，可組成毫米級行程，納米級分辨率的宏微復合機構平臺。
技術參數
型號：P11.Z100
運動自由度：Z
行程范圍（0~120V）：80μm
行程范圍（0~150V）：100μm
閉環傳感器類型：SGS
閉/開環分辨：7/4nm
閉環線性度：0.05%F.S.
閉環重復定位精度：0.02%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<10μrad
推/拉力：30/10N
運動方向剛度：0.3N/μm
空載諧振頻率：0.3kHz
閉/開環空載階躍時間：10/0.8ms
承載能力：0.8kg
靜電容量：1.8μF
材質：鋼、鋁
重量：100g
